4月7日，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”）微觀加工設(shè)備研發(fā)中心項(xiàng)目簽約活動(dòng)在南昌舉行。此次簽約標(biāo)志著中微公司與南昌高新區(qū)的合作進(jìn)入新階段，也意味著南昌在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)尤其是第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域的發(fā)展迎來新機(jī)遇。

根據(jù)研精畢智咨詢公司研究報(bào)告，中微公司此次簽約的微觀加工設(shè)備研發(fā)中心項(xiàng)目，將擴(kuò)大在南昌高新區(qū)的研發(fā)投入力度。項(xiàng)目重點(diǎn)聚焦于多個(gè)關(guān)鍵領(lǐng)域，包括用于先進(jìn)封裝產(chǎn)業(yè)半導(dǎo)體制造相關(guān)設(shè)備與工藝的開發(fā)、第三代半導(dǎo)體（碳化硅和氮化鎵）功率器件相關(guān)制造設(shè)備與工藝的開發(fā)、Micro LED用MOCVD設(shè)備應(yīng)用推廣以及Mini LED用MOCVD設(shè)備性能提升等。這些研發(fā)方向不僅契合當(dāng)前半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展趨勢(shì)，也體現(xiàn)了中微公司在高端微觀加工設(shè)備領(lǐng)域的技術(shù)實(shí)力和戰(zhàn)略布局。公開資料顯示，在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域，中微公司已經(jīng)取得了顯著進(jìn)展。中微公司推出了用于氮化鎵功率器件生產(chǎn)的MOCVD設(shè)備PrismoPD5，目前已交付國內(nèi)外領(lǐng)先客戶進(jìn)行生產(chǎn)驗(yàn)證，并取得了重復(fù)訂單；其中微公司啟動(dòng)了SiC功率器件外延生產(chǎn)設(shè)備的開發(fā)，并取得了較大的技術(shù)進(jìn)展。公司已將樣機(jī)付運(yùn)至客戶端開展生產(chǎn)驗(yàn)證，并正與多家客戶正在推進(jìn)合作。

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